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Elegant Ⅱ-Y

半导体展:先进材料及晶圆级制造设备,玻璃原材及TGV玻璃通孔技术,半导体材料与工艺设备

ELEGANT II 系列是原磊材料科技的第二代研发型 ALD / ALE 设备，集成我司自主研发的传输系统，减少人工干预，降低污染。该系列预留了数个升级端口，可同时实现等离子体增强和臭氧工艺，特别适合泛半导体、化合物、先进封装、MEMS 和光学器件上的薄膜沉积。