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线激光对焦传感器

半导体展:先进材料及晶圆级制造设备

线激光对焦传感器（MLAF-7V）是一款自动对焦、跟焦传感器，基于光学原理快速获取反馈信号，可对多种无限远校正显微系统精准对焦。传感器可以确定聚焦方向、测量最佳对焦距离，信号经处理后控制 Z 轴驱动器移动样品至最佳位置，与电机驱动系统等组成完整自动对焦系统。