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面阵共聚焦测头/设备

嵌入式展:机器视觉###半导体展:半导体材料与工艺设备

采用独特设计的微型点阵图案，一次投射就可以整个幅面的共聚焦成像，避免了幅面的扫描运动。
更低成本硬件，CCD相机取代光电倍增管，取消振镜结构。
图像采样量大幅下降，相比振镜减少10万倍。