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偏振全息干涉测头/设备

嵌入式展:机器视觉###半导体展:半导体材料与工艺设备

偏振全息干涉：单张全息图即可包含全部像面的信息，可以理解为是多层像面的叠加，可以做到观测对象实时三维成像。