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Grace Mx

半导体展:玻璃原材及TGV玻璃通孔技术

GRACE-M 系列是我司自主研发的第一代多层平板式 ALD 系统。采用独特的模块设计，通过对腔体和前驱源进气系统的优化，实现了超高的工艺稳定性，并支持全方位的工艺开发，材料覆盖众多氧化物，最大可容纳样品尺寸600*600 mm2，可广泛应用于太阳能电池、TGV种子层制备等领域。